雷射手動分析探針台是一種用於電子與通信技術領域的分析儀器，於2010年1月2日啟用。
基本介紹
- 中文名：雷射手動分析探針台
- 產地：中國
- 學科領域：電子與通信技術
- 啟用日期：2010年1月2日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針
技術指標,主要功能,
技術指標
New-WaveEzlaze3Green/UV3laser:雷射波長532nm,355nm可切換,雷射能量不小於0.6mJ每脈衝,三種運行模式，單發，連續(1Hz),集中(最大持續10s,重複頻率5Hz)。MitutoyoFS-70鏡像顯微鏡:目鏡：10倍；物鏡2、10、20、50倍;NUV100X鏡頭用於雷射修割。8ProbeStationandProbecardholder:8chuck,chuck可旋轉±15度精度±0.1。Micropositioner：4隻。
主要功能
雷射修割晶片中的合金（鋁合金、銅合金）、poly、二氧化矽等。探針對積體電路晶片測試。探針卡對積體電路晶片測試。
