雷射修正探針台

雷射修正探針台是一種用於信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科領域的工藝試驗儀器，於2009年3月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射修正探針台
• 用途：便於wafer取放、探針卡再定位
• 產地：中國
• 學科領域：信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2009年3月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

8寸載物台，載物台平坦度5微米，X-Y軸行程 8x8 ，Chuck旋轉角度0~30 度，針座平台上下粗調行程6mm，平台上升下降25mm,精度1微米，20X~4000X 光學顯微放大。

主要功能

針座平台可以快速升降便於wafer取放，針座平台可以微調升降便於探針卡再定位。