精密變溫分析探針台

精密變溫分析探針台是一種用於電子與通信技術、信息與系統科學相關工程與技術領域的分析儀器，於2019年6月6日啟用。

基本介紹

• 中文名：精密變溫分析探針台
• 產地：德國
• 學科領域：電子與通信技術、信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2019年6月6日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針

技術指標

8英寸探針台、帶變溫功能，正常測試室溫到150度，包含4個定位器。

主要功能

可對8英寸以下晶圓進行在片變溫電學測量。