邏輯測試系統是一種用於電子與通信技術領域的電子測量儀器，於2005年12月1日啟用。
基本介紹
- 中文名：邏輯測試系統
- 產地：日本
- 學科領域：電子與通信技術
- 啟用日期：2005年12月1日
- 所屬類別：電子測量儀器 > 大規模積體電路測試儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
測試頻率：10MHz IO 通道：128pins 測量時間：100ns~3sec晶圓規格：4寸 5寸 6寸移動範圍：11.68寸（X） 8.4寸（Y）移動速度：10.16寸/秒 精度：1um 驅動器：Vih=0~+11V Vil=-2~+8V 電流選擇：4組 精度：2.7mV比較器：Voh=-12~+12V Vol=-12~+12V 電流選擇：2組 精度：3mV動態負載：Ioh=-1~-20mA Iol=+1~+20mA 電流選擇：2組 Vout=-2~+8V。
主要功能
晶圓測試。本系統由測試儀，探針台和相關的空氣乾燥及淨化設備組成。本系統自動化程度高、速度快、準確性高、穩定性強的優點。可以調用和解析其他廠商通用測試儀的測試程式。
