掃描電鏡/聚焦離子束電鏡系統

掃描電鏡/聚焦離子束電鏡系統是一種用於物理學、材料科學、能源科學技術領域的分析儀器，於2012年10月22日啟用。

基本介紹

• 中文名：掃描電鏡/聚焦離子束電鏡系統
• 產地：捷克
• 學科領域：物理學、材料科學、能源科學技術
• 啟用日期：2012年10月22日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

1.工作模式：高真空、低真空、環掃共三種模式；2.放大倍數：30倍—128萬倍；3.解析度：電子束1.2nm（工作電壓30kV）;離子束5nm；4.加速電壓：0.2Kv—30Kv；探針電流：電子束可持續調節，高達200nA；離子束1pA-65nA；能譜：探測元素範圍B5-U92，能量解析度：136eV。

主要功能

物理學,材料科學,能源科學技術。