聚焦離子束-掃描電鏡雙束系統

聚焦離子束-掃描電鏡雙束系統是一種用於地球科學領域的分析儀器，於2015年12月14日啟用。

基本介紹

• 中文名：聚焦離子束-掃描電鏡雙束系統
• 產地：德國
• 學科領域：地球科學
• 啟用日期：2015年12月14日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡

技術指標

1.SEM: 加速電壓0.1 - 30 kV，2.5 nm@1 kV ；2.FIB：離子束解析度5 nm (30 kV, 1 pA)，加速電壓0.5 - 30 kV，電流1 pA~50 nA。

主要功能

形貌觀察和製備透射電鏡超薄片。