聚焦離子束電子顯微鏡

聚焦離子束電子顯微鏡是一種用於物理學、材料科學領域的分析儀器，於2014年6月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：聚焦離子束電子顯微鏡
• 產地：捷克
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2014年6月1日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

電子束解析度(Electron beam resolution)：0.9 nm@15kV，1.4nm@1kV 離子成像解析度(Ion beam resolution)：4nm@30kV。

主要功能

Elstar Schottky 場發射 SEM 技術和優異性能 FEI的Tomahawk FIB，具備低至500 V的卓越的低電壓操作和高至65 nA的束電流性能 全新的差分抽取及 TOF 校正功能，可實現更高解析度的離子束成像、磨削和沉積 150 x 150 mm 高度精確、高度穩定的壓力驅動樣品台 優異的成像技術和解決方案。