聚焦離子束顯微鏡

聚焦離子束顯微鏡

聚焦離子束顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器,於2016年01月08日啟用。

基本介紹

  • 中文名:聚焦離子束顯微鏡
  • 產地:荷蘭
  • 學科領域:材料科學
  • 啟用日期:2016年01月08日
  • 所屬類別:分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,

技術指標

加速電壓:0.5kV-30kV射束電流:1.1pA-65nA圖像解析度:4.5nm。

主要功能

V400ACE™ 聚焦離子束(FIB)系統採用了離子鏡筒設計、氣體輸送和端點探測領域的最新發展成果,可實現對高級積體電路的快速、高效和具備成本效益的電路編輯。

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