電子顯微方法是利用電子束替代光束照射物體並使其影像得到更大放大倍數的方法。顯微鏡能分辨尺度的極限與所用波的波長相比擬,波長越短,分辨本領越大。光學顯微鏡能分辨的細節大約為1000毫微米。電子束有波動性,其波長與電子的動量成反比。當電子具有很大速度時,其波長比普通光波要短數千倍,從而分辨能力可達幾十個毫微米。
電子顯微鏡的原理與光學顯微鏡的完全相同,只不過電子顯微鏡是用靜電透鏡或磁透鏡替代了光學透鏡而達到電子束聚焦的。目前,電子顯微鏡的放大倍數可達100萬倍以上。通常使用的電子顯微鏡分為透射式和掃描式兩種。有些特殊顯微鏡還利用質子束、X射線或正離子束代替電子束以獲得放大影像。電子顯微鏡已廣泛用於病毒、蛋白質、分子、金屬表面和物質結構的研究。