雙束聚焦離子束微納加工儀

雙束聚焦離子束微納加工儀是一種用於材料科學、物理學、基礎醫學、化學工程領域的分析儀器，於2011年12月9日啟用。

基本介紹

• 中文名：雙束聚焦離子束微納加工儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學、物理學、基礎醫學、化學工程
• 啟用日期：2011年12月9日
• 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器

技術指標

電子源: FEG 離子源: Gallium liquid metal 加速電壓： SEM≥30KV FIB≥30KV，束流≥50nA SEM二次電子像解析度: ≤1.2 nm @ 高壓模式 ≤2.8 nm @ 低壓模式 FIB 解析度 ≤7 nm。

主要功能

聚焦離子束技術（FIB）是一種集形貌觀測、定位制樣、成分分析、薄膜澱積和無掩膜刻蝕各過程於一身的新型微納加工技術。聚焦的離子束在半導體行業有著重要作用，可用來切割納米級結構，對光刻技術中的禁止板進行修補，分離和分析積體電路的各個元件，激活由特殊原子組成的材料，使其具有導電性等等。它可用來分析樣品化學成分、進行生物研究以及製造保持血管暢通的心臟固定膜等微型醫學植入材料。其基本功能可概括為: 定點切割, 選擇性的材料蒸鍍,強化性蝕刻或選擇性蝕刻, 蝕刻終點偵測。在透射電鏡試樣製作方面，聚焦離子束顯微鏡是一個優越的手段，能在較短的時間內與高成功率完成。