雙束場發射聚焦離子束及掃描電子顯微鏡

雙束場發射聚焦離子束及掃描電子顯微鏡是一種用於物理學、化學、材料科學、電子與通信技術領域的分析儀器，於2014年2月27日啟用。

基本介紹

• 中文名：雙束場發射聚焦離子束及掃描電子顯微鏡
• 用途：用於物理學、化學、材料科學、電子與通信技術領域的分析
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、化學、材料科學、電子與通信技術
• 啟用日期：2014年2月27日
• 所屬類別：分析儀器 > 環境與農業分析儀器

技術指標

電子束解析度：0.9nm，離子束解析度：4nm。

主要功能

製備透射電鏡樣品。