電子束聚焦離子束雙束電子顯微鏡是一種用於物理學、材料科學領域的分析儀器，於2015年4月30日啟用。
基本介紹
- 中文名：電子束聚焦離子束雙束電子顯微鏡
- 產地：捷克
- 學科領域：物理學、材料科學
- 啟用日期：2015年4月30日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 雷射共焦顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
(1)電子束解析度 1、高真空：1nm 30kV (二次電子)； 2.5 nm 30kV (背散射電子)；1.5 nm 15kV (二次電子)； 2.9 nm 1kV (二次電子)。2、低真空：1.5nm 30kV (二次電子)； 3.0nm 3kV (二次電子)(2)離子束解析度：束交叉點：7nm 30kV；5nm 30kV。(3)電子光學1、60度物鏡極靴，2、加速電壓可設定範圍：500～30kV； (4)離子光學：1、鎵液態金屬離子源；2、加速電壓可設定範圍：500～30kV。
主要功能
微納製造與加工平台的重要組成部分，能製造多種不同納米結構，可用於納米尺度上的切割和焊接。通入特殊氣體，也可實現由離子束誘導的金屬和絕緣體氣相沉積。另外，通過加入環境掃描附屬檔案，可以實現環境掃描觀測功能，通過加裝掃描透射附屬檔案，可以實現掃描透射功能。擬購置的電子束聚焦離子束雙束系統為在納米尺度下製造和加工提供極大的便利。
