聚焦離子電子雙束系統

聚焦離子電子雙束系統是一種用於材料科學領域的科學儀器，於2012年6月11日啟用。

基本介紹

• 中文名：聚焦離子電子雙束系統
• 產地：捷克
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2012年6月11日

技術指標

二次電子像解析度：0.9nm（15kV），1.4nm（1kV）；放大倍數：40~600000；加速電壓：0.5~30kV；離子成像解析度：4nm(30kV) 加速電壓：0.5~30Kv。

主要功能

微納結構加工，可以進行各種微納材料的搬運、各種微納結構形狀或圖案的加工，特別是TEM透射電鏡樣品製備。可以進行二次電子形貌分析、背散射電子襯度分析、EDS能譜分析；EBSD背散射電子衍射分析。