雙束電子顯微鏡

雙束電子顯微鏡是一種用於物理學領域的科學儀器，於2013年5月13日啟用。

基本介紹

• 中文名：雙束電子顯微鏡
• 產地：荷蘭
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2013年5月13日

技術指標

器件最小製備線寬可達到20 nm。

主要功能

versa 3D是集成聚焦離子束和聚焦Ga離子束的雙束系統，器件最小的製備線寬可以達到20nm。可以沉積Pt，C兩種材料，配有omniprobe探針，可以實現TEM樣品的製備。