聚焦離子束掃描電鏡是一種用於數學領域的分析儀器，於2012年11月1日啟用。
基本介紹
- 中文名：聚焦離子束掃描電鏡
- 產地：捷克
- 學科領域：數學
- 啟用日期：2012年11月1日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
場發射(FE-SEM)部分： #11; 解析度：高真空：1.2nm at 30kV#11; 放大倍數：2x~1,000,000x #11; 真空系統：高真空：樣品室＜9x10-3Pa，槍體真空＜1x10-6Pa #11; 加速電壓：0.5kV to 30KV#11; 電子束電流：2pA~100nA 離子束(FIB)部分： #11; 解析度：＜5nm at 30kV#11; 放大倍數：150x~1,000,000x #11; 真空系統：槍體真空＜5x10-6Pa #11; 加速電壓：1kV to 30kV離子束電流：2pA~40nA。
主要功能
FEG-SEM/FIB採用高強度聚焦離子束（FIB）對材料進行納米尺度地加工，結合掃描電子顯微鏡（SEM）實時觀察，開闢了從大塊材料製造納米器件、進行納米加工的新途徑。目前已廣泛套用於半導體積體電路生產線；直接修補、加工積體電路；微納米加工、操作以及器件研製等諸多領域的研究中。
