《基於SEM線上納米切削的加工極限及材料去除機理研究》是依託天津大學，由徐宗偉擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：基於SEM線上納米切削的加工極限及材料去除機理研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：徐宗偉
- 依託單位：天津大學
- 負責人職稱：副教授
- 申請代碼：E0512
- 研究期限：2016-01-01 至 2019-12-31
- 批准號：51575389
- 支持經費：64（萬元）
項目摘要
納米切削材料去除機理和極限加工能力研究是推動納米切削加工技術發展的關鍵，項目擬開展基於聚焦能量束（離子、電子、光子）技術的金剛石刀具納米切削機理及其製造完整性的研究。建立聚焦離子束/掃描電鏡(FIB/SEM)雙束系統線上納米切削及切削力線上檢測平台，圍繞納米切削材料去除機理、極限切削能力、單晶矽納米切削中金剛石刀具磨損抑制策略、加工亞表面相變和微裂紋等損傷分布規律及其有效修複方法等研究內容，深入開展聚焦能量束納米製造及微觀表征分析。結合FIB原位納米減薄技術與EBSD、拉曼光譜等能量束微觀表征技術，闡明納米切削加工的亞表面損傷分布規律，開展亞表面損傷的飛秒雷射修復研究。闡明刀具刃口鋒銳度與加工質量的協同競爭機制，建立納米切削材料去除模型、提高納米切削製造完整性和極限加工能力的策略。項目的實施將有助於把特種加工三束技術與超精密加工技術有機融合，推動納米切削技術和相關機理研究更好的發展。
