聚焦離子束雙束系統

聚焦離子束雙束系統是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2014年03月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：聚焦離子束雙束系統
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2014年03月31日
• 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器

技術指標

電子束:解析度： ≤1.0 nm@15KV ，≤1.9 nm@1kV； 放大倍率：12x ～ 1000kx；離子束:解析度： ≤ 2.5nm@30kV； 放大倍率:300x ～ 500kx.。

主要功能

雙束系統中場發射掃描電鏡主要用於觀察、分析和記錄材料的微觀形貌，聚焦離子束用來對樣品進行在納微米尺度下的切割、刻蝕，透射樣品製備及原子探針針尖加工等工作。