雙束型聚焦離子束顯微分析系統

雙束型聚焦離子束顯微分析系統是一種用於冶金工程技術領域的分析儀器，於2011年12月18日啟用。

基本介紹

• 中文名：雙束型聚焦離子束顯微分析系統
• 產地：捷克
• 學科領域：冶金工程技術
• 啟用日期：2011年12月18日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器

技術指標

1.電子束系統解析度：0.9nm（15kv）/1.4nm（1kv）2.離子束系統解析度：在束交叉點：4.5nm@30kV（統計測量法）在束交叉點：2.5nm@30kV（單邊測量法）3.電子束加速電壓：350V-30kV4.離子束加速電壓：0.5-30kV5.電子束流：≤22nA6.離子束流：1pA ？C 65nA。

主要功能

納米級加工及觀測研究。