SEM截面樣品離子束拋光儀是一種用於地球科學領域的科學儀器，於2014年12月18日啟用。
基本介紹
- 中文名：SEM截面樣品離子束拋光儀
- 產地：美國
- 學科領域：地球科學
- 啟用日期：2014年12月18日
技術指標,主要功能,
技術指標
1. 離子槍：兩隻潘寧式離子槍，裝載環形永磁鐵，聚焦離子束設計。離子槍無消耗品。 2. 離子槍束能量：0.1keV~6keV 3. 離子槍角度：可調，+10°到-10°，每隻離子槍可獨立調節 4. 離子槍消耗：無消耗 5. 拋光速率：矽，每小時140μm，6kV 6. 拋光區域：0.5-1.5mm，通過離子束可調節 7. 樣品台：Ti遮擋板，配合Sample Stub可直接轉至SEM中觀察，從而可以重複拋光原感興趣區域 8. 離子束調製：雙束調製系統 9. 樣品更換：專利Whisperlok設計，樣品更換時間30s，無需破樣品室真空。
主要功能
氬離子精密拋光裝置是利用氬氣，通過專利潘寧規式離子槍產生氬離子源，對岩石或微孔隙樣品的表面進行轟擊研磨。由於氬離子對樣品的表面是進行原子級別的層層剝離，最終可以達到對樣品表面進行精細拋光的作用。經過氬離子拋光後的岩石或微孔隙樣品具有光滑的截面，而不會出現機械研磨造成的樣品機械損傷，從而可以用來觀察岩石或微孔隙樣品的儲層結構、定量統計儲層孔隙，確定孔隙度等。
