場發射雙束掃描電鏡是一種用於生物學領域的核儀器，於2015年4月12日啟用。
基本介紹
- 中文名：場發射雙束掃描電鏡
- 產地：美國
- 學科領域：生物學
- 啟用日期：2015年4月12日
- 所屬類別：核儀器 > 離子束分析儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
1.解析度 在最適佳工作距離下： 0.9nm @ 15kV 1.4nm @ 1kV 在束交點(電子束+離子束)的工作距離下： 1.0nm @ 15kV, 束交點工作距離 4mm 5nm FIB @ 30kV，束交點工作距離 16.5mm 2.加速電壓範圍： SEM: 30kV 至 350V FIB: 30kV 至 500V 3.探測器： 新一代TLD二次電子/背散射電子探測器 樣品室紅外CCD 可選CDEM離子探測器、STEM、固體背散射探。
主要功能
. Schottky FESEM第一次達到亞納米解析度 2. FIB出色的解析度以及最大範圍的束流和加速電壓 3. 出色的成像質量和系統穩定性 4. 新集成的電子和離子束16 位數字圖案生成器 5. 最薄的樣品製備，非常低的樣品損傷、高速度、並且操作輕鬆 6. 二維和三維的納米表征和納米原型製作達到了新的極限。
