聚焦離子束/掃描電鏡雙束工作站是一種用於力學、化學、機械工程、化學工程領域的分析儀器，於2016年8月29日啟用。
基本介紹
- 中文名：聚焦離子束/掃描電鏡雙束工作站
- 產地：德國
- 學科領域：力學、化學、機械工程、化學工程
- 啟用日期：2016年8月29日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
電子束：解析度：≤1.0nm@15KV，≤1.9nm@1kV放大倍率：12x～1000kx最低加速電壓：≤0.1kV無漏磁電磁物鏡+靜電透鏡複合物鏡結構，可對磁性材料近距離高分辨觀察；能實現高解析度觀察下的邊切邊看實時觀察（非小物鏡模式）；離子束：離子束解析度：≤2.5nm@30kV；（多邊統計法）放大倍率：300x～500kx（寶麗來圖像版式）；加速電壓：最低加速電壓不高於1KV，最高加速電壓不低於30kV；納米機械手是雙束聚焦離子束分析的重要附屬檔案，可以為提取FIB切割後的微小樣品，很方便的為透射電鏡進行樣品製備。同時和FIB配合，也可以對納米材料進行搬運、操縱，大大擴展雙束聚焦離子束分析的功能。
主要功能
1.納米加工2.納米原型設計3.2D/3D納米表征4.納米分析。
