超級電鏡聚焦離子束制樣系統

超級電鏡聚焦離子束制樣系統是一種用於材料科學、冶金工程技術領域的分析儀器，於2015年4月14日啟用。

基本介紹

• 中文名：超級電鏡聚焦離子束制樣系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學、冶金工程技術
• 啟用日期：2015年4月14日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 透射電鏡

技術指標

場發射電子槍鏡筒，高束流離子鏡筒，二次電子檢測器，一體化束流檢測器，全自動光闌系統，空氣壓縮機，冷卻循環系統，一體化納米機械手，Win7系統工作站。

主要功能

靈活的電子束真空配置，用於檢查僅高真空配置系統內的導體樣品，或者檢查高真空和低真空配置系統內的導體和絕緣樣品。