化學氣相沉積爐

《化學氣相沉積爐》是2015年10月1日實施的行業標準。

基本介紹

• 中文名：化學氣相沉積爐 
• 標準號：YS/T 1031-2015
• 技術歸口：全國有色金屬標準化技術委員會
• 發布日期：2015-04-30
• 批准發布部門：工業和信息化部
• 實施日期：2015-10-01

適用範圍

本標準適用於化學氣相沉積。

起草單位

湖南頂立科技有限公司、中國有色金屬工業標準計量質量研究所等。

起草人

戴煜、 胡祥龍、 胡高健等。