半導體製程設備

半導體製程設備

《半導體製程設備》是五南出版的一本圖書,作者張勁燕。

基本介紹

  • 作者:張勁燕
  • ISBN:9789571125664
  • 定價:NT$ 680
  • 出版社:五南
  • 出版時間:2001年09月01日
作品目錄
第1章 晶體成長和晶圓製作
第2章 磊晶沉積設備
第3章 微影照相設備
第4章 化學氣相沉積爐
第5章 氧化擴散高溫爐
第6章 離子植入機
第7章 乾蝕刻機
第8章 蒸鍍機
第9章 濺鍍機
第10章 化學機械研磨

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