基本介紹
- 中文名：離子強化氣相沉積
- 外文名：Plasma assisted chemical vapor deposition
- 簡稱： PACVD
- 加工溫度：200 ℃以下
- 塗層厚度：2~3 微米
基本信息,加工溫度,
基本信息
PACVD 離子加強化學氣相沉積是在高度真空環境，溫度低於 200 ℃的情況下，沉積極度光滑，粘著性能好的無定形金剛石硬質合金塗層。相對 PVD 工藝， PaCVD 工藝套用深鍍電源，無需陰極靶材，同時工件在爐膛中無需旋轉，該工藝為乾淨無污染，可靠，和多性能的塗層工藝。 PACVD 又叫 PECVD 。
加工溫度
PACVD 塗層的加工溫度在 200 ℃以下，大多數材料都能被用來塗層。
典型的塗層零件
PACVD 可用於絕大多數基體材料，電導材料和絕緣材料，典型套用包括發動機貨物機械零件、泵零件、醫療器件和裝飾件。
典型的塗層類型
立仁愛邦 的PACVD 過程沉積大量的 ADLC 塗層。這一設計運用於特殊的套用領域，包括高精密套用領域，低應力套用領域和陶器套用領域。
塗層極高硬度（ 10 — 40Gpa ），在結構組織上無定形並含有約 70% 的 SP3 bondings。
塗層厚度為 2~3 微米，典型的工藝時間大約 3.5 小時。
技術過程優勢
· 適合多種材料
· 減少工藝時間，提高生產效率
· 低工藝溫度，尺寸變形小
· 塗層厚度均勻，無論對幾何形狀簡單還是複雜的零件
· 工藝對環境無污染
· 可對內孔進行塗層
PACVD 加工過程
