化學氣相滲爐

化學氣相滲爐

化學氣相滲爐是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2019年6月17日啟用。

基本介紹

  • 中文名:化學氣相滲爐
  • 產地:中國
  • 學科領域:材料科學
  • 啟用日期:2019年6月17日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

100 mN 載荷解析度:6Nn。

主要功能

化學氣相沉積。

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