雷射分子束外延裝置

雷射分子束外延裝置是一種用於物理學、材料科學、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2013年1月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射分子束外延裝置
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、材料科學、電子與通信技術
• 啟用日期：2013年1月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

真空度高達2*10-8Pa；四靶位，1個樣品台，樣品台加熱可達800攝氏度。 原位觀測製備單晶超薄膜樣品。

主要功能

製備單晶或多晶氧化物、半導體等薄膜或超薄膜樣品。