雷射分子束外延成膜系統

雷射分子束外延成膜系統是一種用於電子與通信技術、物理學領域的工藝試驗儀器，於2011年12月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射分子束外延成膜系統
• 產地：中國
• 學科領域：電子與通信技術、物理學
• 啟用日期：2011年12月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

極限真空：5.0×10-8 Pa。

主要功能

用於生長光學晶體、鐵電體、鐵磁體、超導體和有機化合物薄膜材料。