組合雷射分子束外延系統

組合雷射分子束外延系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2013年12月2日啟用。

基本介紹

• 中文名：組合雷射分子束外延系統
• 產地：日本
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2013年12月2日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

功率：5kW, 真空度：1e-9torr，溫度：20-1000℃。

主要功能

生長連續梯度組分薄膜。