超高真空雷射分子束外延系統

超高真空雷射分子束外延系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2013年11月21日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空雷射分子束外延系統
• 產地：荷蘭
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2013年11月21日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

RHEED振盪。

主要功能

可提供多種氧化物單晶薄膜製備，並實現原位金屬電極沉積。