中文名稱 | 雷射分子束外延 |
英文名稱 | laser molecular beam epitaxy,LMBE |
定 義 | 將分子束外延技術與脈衝雷射沉積技術的有機結合,在分子束外延條件下雷射蒸發鍍膜的技術。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科) |
中文名稱 | 雷射分子束外延 |
英文名稱 | laser molecular beam epitaxy,LMBE |
定 義 | 將分子束外延技術與脈衝雷射沉積技術的有機結合,在分子束外延條件下雷射蒸發鍍膜的技術。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科) |
分子束外延技術是在半導體工藝中近十幾年來發展起來的一項新技術,它是在超高真空條件下,類似於真空蒸發鍍把構成晶體的各個組分和予摻雜的原子(分子),以一定的熱...
中文名稱 雷射分子束外延 英文名稱 laser molecular beam epitaxy,LMBE 定義 將分子束外延技術與脈衝雷射沉積技術的有機結合,在分子束外延條件下雷射蒸發鍍膜的...
分了束外延設備有很多種。但就其主要結構而論是大同小異的。分子束外延的設備較其他外延技術的設備複雜,要包括超高真空系統努森箱及各種分析儀器。從MBE技術的發展...
分子束外延(MBE)是新發展起來的外延制膜方法,也是一種特殊的真空鍍膜工藝。外延是一種製備單晶薄膜的新技術,它是在適當的襯底與合適的條件下,沿襯底材料晶軸方向...
中文名稱 雷射輔助電漿分子束外延 英文名稱 laser assisted plasma molecular beam epitaxy 定義 在分子束外延生長中,利用準分子脈衝雷射燒蝕高熔點氧化物靶,使...
分子束外延鍍膜法是一種半導體薄膜材料製備工藝。在超高真空下,從束源噴射爐中蒸發出來的不同組元的原子束或分子束噴射到加熱的、清潔的且具一定晶向的單晶襯底...
1、氧化物薄膜和結的研究。用雷射分子束外延方法,製備多種具有不同性質的氧化物薄膜、結和超晶格,研究它們的顯微結構和光電性質,並進行新的原理性器件的研究。...
新型鈣鈦礦氧化物功能薄膜與異質結的雷射分子束外延及其微結構與相關物性 [1] 陳正豪學術成果 編輯 從七五、八五期間至今,主持攀登項目子課題、國家基金重點項目和面...
③ 各種單晶薄膜、多晶薄膜(TiN 、TiN-AlN、MgO、Pt、Ir)的雷射分子束外延生長方法及其性能的研究。④ 各種單晶薄膜、多晶薄膜(TiN 、MgO、Pt)的離子束濺射...
我們採用雷射分子束外延,第一性原理計算,電子束曝光,微納光波導測試平台,微區可見光/近紅外/中遠紅外光譜分析和磁光譜分析進行材料理論仿真,薄膜製備,器件仿真,製備...
主要設備:石墨烯CVD系統、超高真空石墨烯外延系統、分子束外延系統(MBE)、雷射分子束外延系統等。 [1] 中文名 陳遠富 國籍 中國 民族 漢 職業 博士、教授 ...
用雷射分子束外延方法生長了高質量的多鐵性BFO外延薄膜和異質結,觀察到界面勢壘受鐵電極化調製而引起的可反轉二極體與鐵電電致電阻特性,研究了光、電、磁及應力等...
利用雷射分子束外延技術將傳統的氧化物、鐵電材料、光電材料、磁性材料等以納米級厚度的薄膜形式堆疊在一起,可以形成性能優越於傳統半導體材料的二極體等微電子器件...
獲得單晶薄膜的外延方法有:①分子束外延(MBE),②金屬有機物化合物氣相沉積(MOCVD),③脈衝雷射沉積(PLD),④電子束沉積(EBD),⑤原子束沉積(ABD),⑥早期還有電泳...
實驗室研究條件包括:美國進口超高真空(10-10 torr)雷射分子束外延設備,磁控濺射設備,完備的探針台測試平台和超淨間微電子器件加工平台。從信息薄膜的外延生長、微/...
3)強磁場下線性/非線性光學測量,包括時間分辨光譜、MOKE、SHG、紅外、拉曼等; 2)雷射分子束外延薄膜技術,生長原子層可控的薄膜與超晶格;4)微納器件製備。...
雷射分子束外延法製備矽表面外延高介電係數的薄膜研究。 高頻可調微波器件電介質薄膜的研究。 本課題是光電子物理學,大規模積體電路與微波通信領域的新方向與重要...
半導體自旋電子學;氧化物異質結構薄膜及器件;雷射分子束外延;拓撲絕緣體;稀磁半導體 [1] 王學鋒主講課程 編輯 量子物理與通信(本科生);自旋電子學概論(研究生) [...
雷射分子束外延系統II型雷射分子束外延系統、國際首台超高能量解析度真空紫外雷射角分辨光電子能譜儀和峰值功率大於350太瓦的超強飛秒雷射裝置——“極光III”裝置等。...
在原子分子,碳富勒烯,過度金屬氧化物及稀土金屬氧化物等具有特殊巨觀特性材料電子結構研究方面發表論文近百篇。發展了雷射分子束外延長膜及對其進行原位光電子譜學...