雷射分子束外延沉積儀

雷射分子束外延沉積儀是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2017年11月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射分子束外延沉積儀
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2017年11月28日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 機加工工藝實驗設備

技術指標

系統真空度優於5*10-8mbar，加熱器最高加熱溫度900°C，加熱器為插拔型，基片尺寸1英寸，靶台容納4個1英寸的靶材， 自動換靶，有掃描功能。

主要功能

外延薄膜製備。