分子束外延沉積系統

分子束外延沉積系統是一種用於物理學、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2013年7月9日啟用。

基本介紹

• 中文名：分子束外延沉積系統
• 產地：法國
• 學科領域：物理學、電子與通信技術
• 啟用日期：2013年7月9日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

超真空度：10^-10Torr；原子尺度內可控生長HgCdTe（MCT）基單晶薄膜、異質結和量子阱等；原子層尺度監測材料的生長；納米級超薄膜製備等。

主要功能

薄膜材料製備。