半導體薄膜技術與物理

半導體薄膜技術與物理

《半導體薄膜技術與物理》全面系統地介紹了半導體薄膜的各種製備技術及其相關的物理基礎。全書共分十章。第一章概述了真空技術,第二至第八章分別介紹了蒸發、濺射、化學氣相沉積、脈衝雷射沉積、分子束外延、液相外延、濕化學合成等各種半導體薄膜的沉積技術,第九章介紹了半導體超晶格、量子阱的基本概念和理論,第十章介紹了典型薄膜半導體器件的製備技術

基本介紹

  • 中文名:半導體薄膜技術與物理
  • 出版時間:2008年09月
  • 出版社浙江大學出版社
  • 作 者:葉志鎮 呂斌
  • 定價:36.00 元
  • ISBN:9787308066174
  • 開本:16開
內容簡介,圖書目錄,作者簡介,

內容簡介

《半導體薄膜技術與物理》文字敘述上力求做到深入淺出,內容上深度和寬度相結合,理論和實踐相結合,以半導體薄膜技術為重點,結合半導體材料和器件的性能介紹,同時還介紹了半導體薄膜技術與物理領域的新概念、新進展、新成果和新技術。《半導體薄膜技術與物理》具有內容翔實、概念清楚、圖文並茂的特點。
《半導體薄膜技術與物理》讀者對象廣泛,可作為高等院校材料、物理電子化學等學科的研究生或高年級本科生的半導體薄膜技術課程的教材,也可作為從事半導體材料、薄膜材料、光電器件等領域的科研人員、工程技術人員的參考書籍。

圖書目錄

第1章 真空技術
第2章 蒸發技術
第3章 濺射技術
第4章 化學氣相沉積
第5章 脈衝雷射沉積
第6章 分子束外延
第7章 液相外延
第8章 濕化學製備方法
第9章 半導體超晶格和量子阱
第10章 半導體器件製備技術
參考文獻
……

作者簡介

葉志鎮,男,1955年5月生於浙江溫州。1987年獲浙江大學光儀系工學博士學位;畢業後留校工作,1990~1992年留學美國麻省理工學院(MIT);1994年晉升為教授;1996年選為博導。現為浙江大學材料與化學工程學院副院長、浙江大學納米中心主任。 1988年進入浙江大學材料系,在矽材料國家重點實驗室一直從事半導體薄膜教學科研工作,主要研究方向:Zn0薄膜材料製備、物性調控及光電套用;納米薄層材料高真空CVD技術研發及套用。現兼任國家自然科學基金委信息科學部評審組成員,全國電子材料專委副主任,全國半導體與集成技術、半導體材料和半導體物理專委委員等。

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