雷射光刻機

雷射光刻機是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2017年9月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射光刻機
• 外文名：Laser lithography machine
• 用途：電腦晶片光刻錄
• 產地：英國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2017年9月30日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

0.6um、405nm雷射顯示解析度好於0.7um，±100nm誤差；對準結構誤差小於±1um。

主要功能

對樣品利用雷射進行微納結構的加工。