紫外高速雷射直寫光刻系統虛擬仿真實驗項目

紫外高速雷射直寫光刻系統虛擬仿真實驗項目是浙江科技學院建設的虛擬仿真實驗課程。

基本介紹

• 中文名：紫外高速雷射直寫光刻系統虛擬仿真實驗項目
• 建設院校： 浙江科技學院
• 課程負責人： 徐弼軍
• 授課教師：黃喆、吳俊、阮世平、李祖樟

課程性質

課程背景

對紫外高速雷射直寫光刻系統I藝進行虛擬仿真實驗，作為真實實驗的有效補充，旨在培養學生接觸現代工業界先進光刻工藝，增進其對器件工藝原理、流程的了解、認識，並激發學生的學習興趣和創新思維,並增強學生的虛擬仿真實踐動手能力,為高素質、有經驗的套用型微納光學、積體電路、人才培養奠定強有力的基礎。

教學目標

(1) 掌握紫外高速雷射直寫光刻機的基本工作原理和直寫操作方法。

(2)熟練掌握紫外高速雷射直寫光刻工藝的全過程。

(3) 掌握無掩膜光刻實驗過程中的安全事項和關鍵參數設定，為真實的光刻實驗提供最佳化的參數，指導實際的實驗操作，實現虛實結合。

(4) 通過虛擬仿真實驗平台，提供給需要光刻的多學科學生和科研人員學習，滿足不同層次人員的實踐能力培養。