高精雷射直寫光刻機

高精雷射直寫光刻機是一種用於交通運輸工程領域的工藝試驗儀器，於2018年4月18日啟用。

基本介紹

• 中文名：高精雷射直寫光刻機
• 產地：德國
• 學科領域：交通運輸工程
• 啟用日期：2018年4月18日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

1、 可實現最小線寬 1μm_x000D_ 2、 套刻對準精度 ≤ 0.5 μm_x000D_ 3、 採用360~375nm波段進口半導體固體雷射器，支持SU-8負型光刻膠_x000D_ 4、 真空吸附式裝載夾具，能夠滿足1～6英寸方形基片的曝光需求_x000D_ 5、 採用雷射干涉儀（或相同檔次、精度的其他定位儀器）進行定位校準，解析度≤20nm_x000D_ 6、 設備帶有溫控防塵罩，溫度控制達±0.1℃（外部溫度控制在+/- 1℃以內時）。

主要功能

實現高精度掩膜版（鉻版）的製作。