超高真空鍍膜機是一種用於數學領域的分析儀器,於2005年10月1日啟用。
基本介紹
- 中文名:超高真空鍍膜機
- 產地:美國
- 學科領域:數學
- 啟用日期:2005年10月1日
- 所屬類別:分析儀器
超高真空鍍膜機是一種用於數學領域的分析儀器,於2005年10月1日啟用。
高真空鍍膜機是一種用於物理學、化學領域的工藝試驗儀器,於2013年01月09日啟用。技術指標 腔體內有八個源用來置放不同的材料,並且一次可以對四個樣品進行蒸鍍,同時配置兩個電流源加熱材料,實際蒸鍍時真空可以達到10-7torr。主要...
超高真空全自動磁控濺射鍍膜機是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2016年12月5日啟用。技術指標 1.真空室數量:雙室,包含1個樣片室,1個濺射室。2.極限真空(環境濕度≤55%,經烘烤除氣後):? 樣片室:≤2.0×10-3Pa?
高真空蒸發鍍膜機是一種用於物理學、化學、材料科學領域的儀器,於2012年03月16日啟用。技術指標 該設備主要由蒸發沉積室、手套箱、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、計算機控制系統、電控系統、配氣系統等部分組成。配置:全自動...
高真空電子束蒸發鍍膜機是一種用於化學工程領域的工藝試驗儀器,於2014年11月12日啟用。技術指標 1、真空腔室:Φ600×650mm;立式前開門結構。2、真空系統:複合分子泵+機械泵系統,氣動真空閥門,“兩低一高”數顯複合真空計。*3、...
高真空磁控濺射鍍膜機是一種用於材料科學、電子與通信技術領域的科學儀器,於2013年3月25日啟用。技術指標 設備共有3腔(反濺腔、濺射腔、氧化腔) 8靶 極限真空可達到5*10-6Pa,能進行2英寸晶圓鍍膜。主要功能 可通過直流濺射和...
高真空鍍膜設備是一種用於化學領域的工藝試驗儀器,於2015年12月15日啟用。技術指標 手套箱內氣體純度:O21ppm, H2O1ppm;真空腔內的極限真空度:9´10-7mbar;沉積速率解析度:0.01埃/秒;沉積厚度解析度:1埃/秒;共蒸源:2個...
真空鍍膜設備,主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD雷射濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。書籍 內容簡介 《真空鍍膜設備》詳細介紹了真空鍍膜設備的...
高真空磁控濺射與離子束濺射複合鍍膜設備是一種用於物理學、地球科學、工程與技術科學基礎學科領域的物理性能測試儀器,於2008年12月8日啟用。技術指標 1. 真空泵:分子泵; 2. 樣品傳輸:手動真空環境傳輸; 3. 原位監控:流量監控、...
真空鍍膜倉是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器,於2014年2月20日啟用。技術指標 超高真空倉3X10^-8Pa,真空倉10^-6Pa; 旋轉樣品加熱台最高溫度:800攝氏度 旋轉靶台; 可安裝四塊2英寸靶材。主要功能 提供高真空和可控...
光學鍍膜機 光學鍍膜機是一種用於信息科學與系統科學、物理學領域的工藝試驗儀器,於2012年5月1日啟用。技術指標 膜層控制精度:正負1nm;最大光學元件尺寸:Φ700mm;光譜均勻性:正負1%。主要功能 實現多層光學薄膜的精確製備。
高磁控濺射鍍膜機是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器,於2012年07月09日啟用。技術指標 主體內部尺寸Φ460mm�H1300mm,真空度好於2�10-4Pa,安裝鍺靶和鉍靶尺寸約為60mm�1100mm,鍍膜有效區位900mm。主要功能 專為引力常數G...
DM—450A真空鍍膜機 被評為機械工業部質量信得過產品 1982 DML—500A型離子鍍膜設備 被北京市人民政府授予三等科學技術成果獎 1983 MSK—1膜厚速率控制儀 獲北京市儀器儀表工業總公司科技成果三等獎 DMF—700光學多層鍍膜機 獲機械...
三靶磁控濺射鍍膜機 三靶磁控濺射鍍膜機是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2010年7月1日啟用。技術指標 壓強、功率。主要功能 矽基薄膜材料。
4.極限真空:5*10-5Pa;工作背景真空:7*10-4Pa.5.基片尺寸≤Ф4英寸。6.基片可加熱至500℃.7.控制系統:PC+PLC全自動控制。主要功能 磁濺射鍍膜機是一種普適鍍膜機,用於各種單層膜、多層膜和摻雜膜系。可鍍各種硬質膜、金屬...
濺射鍍膜機 濺射鍍膜機是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器,於2012年12月4日啟用。技術指標 多種物理方法製備薄膜,重複性好。主要功能 薄膜製備、刻蝕。