三靶磁控濺射鍍膜機

三靶磁控濺射鍍膜機是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2010年7月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：三靶磁控濺射鍍膜機
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2010年7月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

壓強、功率。

主要功能

矽基薄膜材料。