高真空鍍膜機

高真空鍍膜機是一種用於物理學、化學領域的工藝試驗儀器，於2013年01月09日啟用。

基本介紹

• 中文名：高真空鍍膜機
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、化學
• 啟用日期：2013年01月09日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

腔體內有八個源用來置放不同的材料，並且一次可以對四個樣品進行蒸鍍，同時配置兩個電流源加熱材料，實際蒸鍍時真空可以達到10-7torr。

主要功能

具有有機材料熱蒸發沉積和金屬材料熱蒸發沉積成膜功能。