超真空磁控與離子束是一種用於材料科學領域的物理性能測試儀器，於2006年11月1日啟用。
基本介紹
- 中文名：超真空磁控與離子束
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2006年11月1日
- 所屬類別：物理性能測試儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
本系統為立式結構的高真空多功能磁控與離子束聯合濺射鍍膜設備。
主要功能
教學與科研。
超真空磁控與離子束
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