高真空磁控與離子束衍射儀

高真空磁控與離子束衍射儀是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的天文儀器，於2005年10月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：高真空磁控與離子束衍射儀
• 產地：中國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2005年10月31日
• 所屬類別：天文儀器 > 地面天文望遠鏡 > 射電望遠鏡

技術指標

加鈦升華泵真空6.6×10^-6 Pa。

主要功能

通過磁控濺射製備納米薄膜材料。