多靶磁控-離子束共濺射儀

多靶磁控-離子束共濺射儀是一種用於航空、航天科學技術領域的工藝試驗儀器，於2012年5月14日啟用。

基本介紹

• 中文名：多靶磁控-離子束共濺射儀
• 產地：中國
• 學科領域：航空、航天科學技術
• 啟用日期：2012年5月14日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

設備由LSR-1003雷射器、FBD-1340光纖驅動器、XRV-1216光學發射/接收器、TRV-1003三坐標移測架等組成。

主要功能

產生雷射源供試驗用。