磁控與離子束聯合測射儀

磁控與離子束聯合測射儀是一種用於物理學、材料科學領域的計量儀器，於2005年01月01日啟用。

基本介紹

• 中文名：磁控與離子束聯合測射儀
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2005年01月01日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器

技術指標

薄膜材料製備，包括金屬薄膜、半導體薄膜、絕緣體薄膜等。背底真空度為3×10-5Pa，襯底可加熱500℃，5個靶位，6個樣品位。

主要功能

薄膜材料製備，包括金屬薄膜、半導體薄膜、絕緣體薄膜等。