聚焦離子束系統是一種用於物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的核儀器,於2002年1月1日啟用。
基本介紹
- 中文名:聚焦離子束系統
- 產地:美國
- 學科領域:物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學
- 啟用日期:2002年1月1日
- 所屬類別:核儀器 > 離子束分析儀器
聚焦離子束系統是一種用於物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的核儀器,於2002年1月1日啟用。
聚焦離子束系統是一種用於物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的核儀器,於2002年1月1日啟用。技術指標電子束解析度(Resolution):3 nm@1 KV,3 nm @30 KV;離子束解析度:7 nm@3...
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氦離子聚焦離子束系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器,於2019年10月31日啟用。技術指標 將氦、氖以及鎵離子3束離子束集成在一台設備上,以實現從um到nm的高分辨成像和納米加工。最高成像解析度0.5nm,亞10nm結構的精細...
聚焦離子電子雙束系統是一種用於材料科學領域的科學儀器,於2012年6月11日啟用。技術指標 二次電子像解析度:0.9nm(15kV),1.4nm(1kV);放大倍數:40~600000;加速電壓:0.5~30kV;離子成像解析度:4nm(30kV) 加速電壓:0.5~...
聚焦離子束-掃描電鏡雙束系統是一種用於地球科學領域的分析儀器,於2015年12月14日啟用。技術指標 1.SEM: 加速電壓0.1 - 30 kV,2.5 nm@1 kV ;2.FIB:離子束解析度5 nm (30 kV, 1 pA),加速電壓0.5 - 30 kV,電流1...
場發射聚焦離子束及光電聯用系統是一種用於材料科學領域的科學儀器,於2017年12月4日啟用。技術指標 結合AutoCuts連續切片收集系統,或藉助FIB(聚焦離子束)自動化序列樣本銑削和SEM(掃描電子顯微鏡)成像功能,創建二維序列圖像,進而開展...
雙束型聚焦離子束顯微分析系統是一種用於冶金工程技術領域的分析儀器,於2011年12月18日啟用。技術指標 1.電子束系統解析度:0.9nm(15kv)/1.4nm(1kv)2.離子束系統解析度:在束交叉點:4.5nm@30kV(統計測量法)在束交叉點:2...
超級電鏡聚焦離子束制樣系統是一種用於材料科學、冶金工程技術領域的分析儀器,於2015年4月14日啟用。技術指標 場發射電子槍鏡筒,高束流離子鏡筒,二次電子檢測器,一體化束流檢測器,全自動光闌系統,空氣壓縮機,冷卻循環系統,一體化...
聚焦離子束系統虛擬仿真實驗課程是由張映輝為課程負責人,張朋波、劉開穎、陳寶玖、付姚為授課教師,大連海事大學為主要建設單位的首批國家級一流本科課程。課程性質 適應專業 聚焦離子束系統虛擬仿真實驗課程適用物理學類專業進行學習。所獲...
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聚焦離子束顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器,於2016年01月08日啟用。技術指標 加速電壓:0.5kV-30kV射束電流:1.1pA-65nA圖像解析度:4.5nm。主要功能 V400ACE™ 聚焦離子束(FIB)系統採用了離子鏡筒設計、氣體輸送和端點...
聚焦離子束工藝 聚焦離子束(Focused Ion Beam) 是利用離子束作為入射源,能對材料進行分析或加工的一類儀器。商用系統的粒子東大多為液相金屬Ga 離子源(liquid Metal lonSource,LMIS),因為鎵元素具有低熔點、低蒸氣壓及良好的抗氧化力...
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離子束濺射系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2014年06月25日啟用。技術指標 ×1、 濺射離子源(聚焦束考夫曼源) 加速能量0.5k~3KeV 束流0~150mA 氣流量:0~10sccm 最大離子束流密度:15mA/㎝2 工作真空1~2×10...
電子-離子雙射束是一種用於地球科學領域的分析儀器,於2017年7月24日啟用。技術指標 聚焦離子束顯微鏡(Focused Ion beam, FIB)的系統是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器,當離子束打到樣品表面上的時候,會產生一些二...
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聚焦離子束 (FIB) 儀器 揭示材料和設備表面下的缺陷 聚焦離子束系統 (FIB) 是一個非常類似於聚焦電子束系統(如掃描電子顯微鏡)的工具。 這些系統令離子束指向樣品,然後離子束經相互作用可產生一些信號,通過將這些信號映射至離子束...