氦離子聚焦離子束系統

氦離子聚焦離子束系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2019年10月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：氦離子聚焦離子束系統
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2019年10月31日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

將氦、氖以及鎵離子3束離子束集成在一台設備上，以實現從um到nm的高分辨成像和納米加工。最高成像解析度0.5nm，亞10nm結構的精細加工。

主要功能

類似於“傳統”FIB-SEM顯微鏡，將氦、氖以及鎵離子3束離子束集成在一台設備上，以實現從um到nm的高分辨成像和納米加工。在成像方式上，它不是使用電子，而是採用來自氣相離子源（GFIS）的氦或氖離子進行高分辨成像。在微納米加工方式上，可分別選擇氦、氖以及鎵離子，進行不同尺度上的微納加工。