掃描近場顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2014年07月01日啟用。
基本介紹
- 中文名：掃描近場顯微鏡
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2014年07月01日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
1\探針掃描的工作方式和精度 ？ 具有樣品掃描工作模式(即樣品台掃描方式)，探針與樣品間距採用音叉式輕敲方式控制，具有自動進針功能 ？ 樣品台xy調節範圍：≥5毫米，馬達調節，精度0.25微米。 ？ 系統樣品尺寸最大16毫米 ？ 樣品掃描範圍：≥80×80×80(微米)； ？ 近場光學解析度：xy方向≤100納米 ？ 要求能夠精密地控制z方向針尖與樣品表面的距離，馬達調節，範圍10mm，精度0.065微米。 ？ 能夠掃描近場光學信號的同時得到AFM形貌圖像 2\？ 樣品台xy調節範圍：≥5毫米，馬達調節，精度0.25微米。 ？ 探針掃描範圍：≥30×30×30(微米)， ？ 近場光學解析度：xy方向≤100納米， ？ 要求能夠精密地控制z方向針尖與樣品表面的距離，馬達調節，範圍10mm，精度0.065微米。 ？ 能夠掃描近場光學信號的同時得到AFM形貌圖像 3\1氬離子雷射光源，波長為514nm雷射器 4\具有透射，反射，和收集模式。
主要功能
主要功能為材料或微系統的近場光學測試使用。,音叉式掃描，中空探針；光學顯微鏡部分為共焦雙置顯微成像模式；激發方式有,上，下，側向等靈活激發，雷射波長：514nm. 適合用於SPR，納米線、量子點等近場材料的表征及測試。
