散射近場光學顯微鏡是一種用於電子與通信技術領域的分析儀器，於2015年6月8日啟用。
基本介紹
- 中文名：散射近場光學顯微鏡
- 產地：德國
- 學科領域：電子與通信技術
- 啟用日期：2015年6月8日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 光學顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
探測頭 · 水平方向180°，垂直方向60°的光路自由空間 · 具有粗定位功能的電動裝載器，行程：X=30mm, Y=3mm, Z=4mm · 位移最小精度100nm，位移速度最高10mm/s 樣品位移台 · 具有粗定位功能的電動裝載器，行程：X=60mm, Y=15mm, Z=8mm · 位移最小精度100nm，位移速度最高10mm/s · 樣品Z 軸精細位移台 · Z 軸精細位移行程：3µm · RMS 受限於噪聲的解析度：0.2nm, 1.5-150Hz 樣品X-Y掃描器 · 100µm x 100µm X-Y閉環掃面範圍 · 電容式位置感測器 正置光學顯微鏡 · 超長工作距離：20mm · 0.8µm解析度，0.7mm對角線視野 · 5百萬像素數字相機 光聚焦收集單元 · 專利的寬頻光拋物面反光鏡設計 · 可見光、紅外和太赫茲光譜波段 · 支持雙光束操作 · 2×45° (NA=0.38)可用光學光圈 · 在X, Y ,Z方向≥8 mm的電動調正範圍。
主要功能
在紅外和太赫茲光譜範圍內同時提供具有10nm空間解析度的光譜和圖像的成像。射型近場成像，檢測納米尺度下的化學成分，（nano-FTIR模式），等離激元場，應力/應變場以及自由載流子分布的分析。
