感應耦合等離子系統

感應耦合等離子系統

感應耦合等離子系統是一種用於數學領域的分析儀器,於2007年10月1日啟用。

基本介紹

  • 中文名:感應耦合等離子系統
  • 產地:日本
  • 學科領域:數學
  • 啟用日期:2007年10月1日
  • 所屬類別:分析儀器 > 電子光學儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

可以處理高達6英寸的晶片預真空互鎖反應腔可以允許氯元素參與反應使用具有高密度ICP等離子源可以刻蝕InP,GaAs,還有其他III-V族化合物,SiNx, SiO2, 還有光刻膠等物質刻蝕氣體選擇多樣,可為Cl2, SiCl4, BCl3, Ar, CF4, CHF3, and O2等。

主要功能

具有多連線埠真空系統,可以提高刻蝕的均勻性可以自行設定刻蝕步驟過程,並且保存過程信息晶片溫度可控設備一體化封裝具有多連線埠真空系統,可以提高刻蝕的均勻性。

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