電感耦合等離子發射光譜-質譜儀

電感耦合等離子發射光譜-質譜儀，是指以電感耦合電漿作為離子源，將無機元素電離成帶電離子後通過接口部分將離子束從電漿中提取進入質量分析器，再根據質荷比不同，通過質譜儀進行檢測的無機多元素分析儀器。ICP-MS可進行多元素濃度快速分析和同位素分析，且具有高靈敏度、低檢出限、線性範圍寬、譜線簡單、干擾少、分析精密度高、可分析元素範圍廣等特點。標準的ICP-MS儀器分為電感耦合電漿、質譜計、接口三個基本部分。由於質譜和電漿之間存在溫度、壓力和濃度的巨大差異，前者要求在高真空和常溫條件下工作，而後者則是在常壓下工作，所以接口是整個ICP-MS系統最關鍵的部分。

ICP-MS儀器靈敏度特別高，因此在樣品製備期間需要特別注意避免污染問題，待測液製備時用酸要考慮到可能引起的多原子離子干擾問題，ICP-MS分析最好的酸介質是硝酸。由於氫氟酸會腐蝕玻璃進樣系統，所以在樣品測定時必須保證待測液中不含氟離子或者使用耐氫氟酸的進樣系統。由於含鹽量過高會引起接口錐嚴重堵塞和基體抑制效應，所以對待測液中含鹽量（TDS）有限制，一般控制在2%以下。